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电子半导体生产车间喷涂工艺会产生废气，也称电子喷涂废气。喷涂废气主要成份有甲苯、二甲苯等有机废气。喷涂废气挥发出来后形成VOCs，产生光化学反应形成雾霾，破坏臭氧层，对人体和大气造成危害。因此，电子喷涂废气处理是环评要求重点，也是电子半导体企业必须要达标排放的废气处理要求。
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